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J-GLOBAL ID：200902201159920264   整理番号：05A0010858

LSI故障解析用レーザーテラヘルツエミッション顕微鏡の開発 レーザーテラヘルツエミッション顕微鏡による集積回路観察

著者 (6件)： 山下将嗣 (理研) ,  紀和利彦 (岡山大 工) ,  斗内政吉 (大阪大 超伝導フォトニクス研究セ) ,  二川清 (NECエレクトロニクス) ,  大谷知行 (理研) ,  川瀬晃道 (理研)
資料名： マイクロファブリケーション研究の最新動向  (マイクロファブリケーション研究の最新動向テキスト)
巻： 15  ページ： 58-62  発行年： 2004年 
JST資料番号： L3461A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体集積回路の欠陥検出のため,オペレーションアンプやマイク...

シソーラス用語： *半導体集積回路 ,...
準シソーラス用語： オペレーションアンプ

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分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (6件)： LSI ,  故障解析 ,  顕微鏡 ,  開発 ,  集積回路 ,  観察