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J-GLOBAL ID：200902201753390062   整理番号：03A0506384

ライン-エッジ粗さ:特性評価と材料の原因

Line-Edge Roughness: Characterization and Material Origin

著者 (4件)： YAMAGUCHI T (NTT Corp., Kanagawa, JPN) ,  YAMAZAKI K (NTT Corp., Kanagawa, JPN) ,  NAGASE M (NTT Corp., Kanagawa, JPN) ,  NAMATSU H (NTT Corp., Kanagawa, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 42  号： 6B  ページ： 3755-3762  発行年： 2003年06月30日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ライン-エッジ粗さ(LER)は,パターンサイズ縮小とともにナ...

シソーラス用語： *電子ビームリソグラフィー ,...
準シソーラス用語： ラインエッジ粗さ

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (37件)：

• 1) T. Yoshimura, H. Shiraishi, J. Yamamoto and S. Okazaki: Appl. Phys. Lett. 63 (1993) 764.
• 2) M. Nagase, H. Namatsu, K. Kurihara, K. Iwadate, K. Murase and T. Makino: Microelectron. Eng. 30 (1996) 419.
• 3) G. W. Reynolds and J. W. Taylor: J. Vac. Sci. Technol. B17 (1999) 2823.
• 4) C. Nelson, S. C. Palmateer, A. R. Forte and T. Lyszczarz: J. Vac. Sci. Technol. B17 (1999) 2488.
• 5) N. Rau, F. Stratton, C. Fields, T. Ogawa, A. Neureuther, R. Kubena and C. G. Willson: J. Vac. Sci. Technol. B16 (1998) 3784.

タイトルに関連する用語 (4件)： エッジ ,  粗さ ,  特性評価 ,  原因