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J-GLOBAL ID：200902202271941351   整理番号：04A0035430

URT-IP法により作製したZnO薄膜の光学及び電気特性

Optical and electrical properties of ZnO films prepared by URT-IP method

著者 (4件)： SHIRAKATA S (Ehime Univ., Ehime, JPN) ,  SAKEMI T (Sumitomo Heavy Ind., Ltd., Ehime, JPN) ,  AWAI K (Sumijyu Technical Center Co., Ltd., Ehime, JPN) ,  YAMAMOTO T (Kochi Univ. Technol., Kochi, JPN)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 445  号： 2  ページ： 278-283  発行年： 2003年12月15日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： URT(Uramoto銃及びTanaka磁場)-IP(イオン...

シソーラス用語： *酸化亜鉛 ,...

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分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  半導体結晶の電気伝導  (BM03043X) ,  半導体のルミネセンス  (BM08092S)

タイトルに関連する用語 (5件)： IP ,  作製 ,  ZnO薄膜 ,  光学 ,  電気特性