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J-GLOBAL ID：200902203204486140   整理番号：08A1242547

最先端の表面・界面評価技術 GDOESナノ薄膜分析ですぐれた深さ分解能を持つデプスプロファイルを得るために

著者 (1件)： 清水健一 (慶応大 経済)
資料名： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
巻： 59  号： 12  ページ： 904-906  発行年： 2008年12月01日 
JST資料番号： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 高周波グロー放電発光分光法(rf-GDOES)によりナノ薄膜を分析する際に深さ分解能の高い深さプロフィルを得るための条件について実験例により説明した。純Al板を電解研磨し,さらに平滑化処理(ホウ酸アンモニウム溶液中でアノード酸化し,生成した皮膜をリン酸-クロム酸水溶液中で溶解,除去する)を行った試料にアノード酸化により皮膜を形成し,GODES分析により深さプロフィルを測定した。結果を平滑化処理を行わずにアノード酸化により皮膜を形成した試料の深さプロフィルの測定結果と比較した。電解研磨したAl表面はミクロなレベルでは凹凸が存在し,平滑化処理によりこれは取り除かれ,平滑な表面が得られる。深さプロフィルもこれに対応して平滑化試料では非常に高い分解能が得られることを示した。

シソーラス用語： *原子発光分析 ,  分解能 ,  *深さ分析 ,  アルミニウム ,  アノード酸化 ,  *酸化膜 ,  平滑化 ,  *試料調製 ,  表面粗さ ,  界面 ,  *深さプロフィル ,  *陽極酸化皮膜
準シソーラス用語： *グロー放電発光分析

分類 (3件)： 分光分析  (CC03012W) ,  金属の表面構造  (BK15020P) ,  金属組織観察法  (WB01010R)

引用文献 (2件)：

• 1) K. Simizu, H. Habazaki, P. Skeldon and G. E. Thompson ; Surf. Interface Anal., 35, 564 (2003).
• 2) K. Shimizu, R. Payking, H. Habazaki, P. Skeldon and G. E. Thompson ; J. Anal. At. Spectrom., 19, 692 (2004).

タイトルに関連する用語 (5件)： 最先端 ,  界面 ,  評価 ,  GDOES ,  深さ分解能