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J-GLOBAL ID：200902246269362090   整理番号：03A0566722

ラジオ周波数GDOES 薄膜の深さプロファイリング分析のための強力な技法

Radiofrequency GDOES: a powerful technique for depth profiling analysis of thin films

著者 (4件)： SHIMIZU K (Keio Univ., Yokohama, JPN) ,  HABAZAKI H (Hokkaido Univ., Sapporo, JPN) ,  SKELDON P (Univ. Manchester Inst. Sci. and Technol., Manchester, GBR) ,  THOMPSON G E (Univ. Manchester Inst. Sci. and Technol., Manchester, GBR)
資料名： Surface and Interface Analysis  (Surface and Interface Analysis)
巻： 35  号： 7  ページ： 564-574,566(1)(2)  発行年： 2003年07月 
JST資料番号： E0709A  ISSN： 0142-2421  CODEN： SIANDQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 直流およびラジオ周波数(rf)グロー放電光学発光分光法(GD...

シソーラス用語： 深さ分析 ,...

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分類 (3件)： 気体放電  (BJ03020T) ,  薄膜一般  (BK14010X) ,  分光分析  (CC03012W)

タイトルに関連する用語 (6件)： ラジオ ,  GDOES ,  薄膜 ,  深さプロファイリング ,  分析 ,  技法