Ba(Ti<sub>1-x</sub>Sn<sub>x</sub>)オゾン強誘電体フィルムベースの誘電体マイクロボロメータの赤外線センサ機能の改善

文献

J-GLOBAL ID：200902205724205863 整理番号：04A0019088

Ba(Ti_1-xSn_x)オゾン強誘電体フィルムベースの誘電体マイクロボロメータの赤外線センサ機能の改善

An Improvement of Infrared Sensor Performance of Ba(Ti1-xSnx)O3 Ferroelectric Film-based Dielectric Microbolometer

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資料名：
巻： 20th ページ： 42 発行年： 2003年07月23日
JST資料番号： L4198A 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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