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J-GLOBAL ID：200902206142756527   整理番号：06A0878000

FIB加工によるカーボン型を用いた石英ガラスのマイクロ・ナノ成形

Micro/nano-Hot Embossing of Quartz Glass Materials with Glassy Carbon Mold Prepared by Focused Ion Beam

著者 (3件)： 高橋正春 (産業技術総合研) ,  前田龍太郎 (産業技術総合研) ,  杉本公一 (信州大 工)
資料名： 塑性と加工  (Journal of the Japan Society for Technology of Plasticity)
巻： 47  号： 549  ページ： 958-962  発行年： 2006年10月25日 
JST資料番号： G0076A  ISSN： 0038-1586  CODEN： SOKAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： FIB(Focused Ion Beam)によりGC(Gla...

シソーラス用語： *ガラス成形 ,...

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分類 (1件)： ガラスの製造  (YC02020O)

引用文献 (11件)：

• LI, X. Proc. MEMS 2001, Interlaken. 2001, 98
• SHAN, X. C. Proc. SPIE. 2002, 4936, 67
• WENSINK, H. MEMS2000, Miyazaki. 2000, 769-774
• NAKAI, A. MEMS2002, Las Vegas. 2002, 524-527
• BECKER, H. Mol. Biotechnol. 2001, 82, 89

タイトルに関連する用語 (4件)： FIB ,  カーボン ,  石英ガラス ,  マイクロ