研究者
J-GLOBAL ID:200901059264492010
更新日: 2022年09月09日
高橋 正春
タカハシ マサハル | Takahashi Masaharu
所属機関・部署:
独立行政法人産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター
独立行政法人産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター について
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ホームページURL (1件):
http://www.aist.go.jp/RESEARCHERDB/cgi-bin/worker_detail.cgi?call=namae&rw_id=M31543301
研究分野 (5件):
材料加工、組織制御
, 構造材料、機能材料
, 加工学、生産工学
, ナノマイクロシステム
, ナノ材料科学
研究キーワード (1件):
ナノインプリント 先端微細加工技術 リソグラフィ 実装技術 MEMS
MISC (9件):
Sung Won Youn, Masaharu Takahashi, Hiroshi Goto, Ryutaro Maeda. A study on focused ion beam milling of glassy carbon molds for the thermal imprinting of quartz and borosilicate glasses. JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING. 2006. 16. 12. 2576-2584
S. W. Youn, M. Takahashi, H. Goto, T. Kobayashi, R. Maeda. The effect of heat-treatment conditions on mechanical and morphological properties of a FIB-milled glassy carbon mold with micro patterns. JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING. 2006. 16. 7. 1277-1284
高橋正春, 前田龍太郎. 研削加工によるカーボン型を用いたガラス材料の大面積マイクロ成形. 塑性と加工. 2006. 47. 549. 963-967
高橋 正春, 前田 龍太郎, 杉本 公一. FIB加工によるカーボン型を用いた石英ガラスのマイクロ・ナノ成形. 塑性と加工. 2006. 47. 549. 958-962
研削加工型による石英ガラスのホットエンボス成形. 塑性加工連合講演会講演論文集. 2005. 56. 585-586
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所属学会 (2件):
日本塑性加工学会
, 精密工学会
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