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J-GLOBAL ID：200902206770558289   整理番号：05A0610044

マイクロ加工石英音叉AFM(原子間力顕微鏡)プローブの新型の提案

PROPOSAL OF NEW TYPE OF MICRO-MACHINED QUARTZ TUNING FORK AFM PROBE

著者 (9件)： HIDA Hirotaka (Nagoya Univ.) ,  SHIKIDA Mitsuhiro (Nagoya Univ.) ,  FUKUZAWA Kenji (Nagoya Univ.) ,  ONO Atsushi (Toyo Communication Equipment Co., Ltd., JPN) ,  SATO Kenji (Toyo Communication Equipment Co., Ltd., JPN) ,  ASAUMI Kazuo (Mizuho Information and Res. Inst., Inc., JPN) ,  IRIYE Yasuroh (Mizuho Information and Res. Inst., Inc., JPN) ,  CHENG Di (Nagoya Univ.) ,  SATO Kazuo (Nagoya Univ.)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 18th  ページ： 323-326  発行年： 2005年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 非接触AFMシステムのプローブについて新型を提案した。原子レ...

シソーラス用語： *原子間力顕微鏡 ,...

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分類 (1件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (7件)： マイクロ加工 ,  石英 ,  音叉 ,  AFM ,  原子間力顕微鏡 ,  プローブ ,  提案