AFMにおける圧電アクチュエータが横寸法測定に与える非線形及びヒステリシスの影響

HUANG Qiangxian; HUANG Qiangxian; GONDA Satoshi; MISUMI Ichiko; SATO Osamu; KEEM Taeho; KUROSAWA Tomizo

文献

J-GLOBAL ID：200902206849225285 整理番号：06A0015786

AFMにおける圧電アクチュエータが横寸法測定に与える非線形及びヒステリシスの影響

Nonlinear and hysteretic influence of piezoelectric actuators in AFMs on lateral dimension measurement

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巻： 125 号： 2 ページ： 590-596 発行年： 2006年01月10日
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

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