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J-GLOBAL ID：200902208292036274   整理番号：09A0916464

微小角入射X線散乱法を利用した薄膜表面層構造評価

著者 (1件)： 藤居義和 (神戸大 研究基盤セ)
資料名： まてりあ  (Materia Japan)
巻： 48  号： 9  ページ： 445-451  発行年： 2009年09月01日 
JST資料番号： F0163A  ISSN： 1340-2625  CODEN： MTERE2  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 微小角入射X線散乱を使った薄膜表面層探さ方向構造解析について述べた。その手法,内容,測定できる分解能の程度,測定で得られる情報の限界の有無を示した。X線反射率法と微小角入射X線回折法を中心に,の原理とその基礎理論を解説した。その測定応用例についても紹介した。X線反射率測定の逆空間の理解のため概念図でもって解説した。微小角入射X線散乱法では,薄膜積層表面試料にX線をすれすれの微小角で入射し,その散乱X線強度の角度分布から,表面各層の膜厚・密度,表面・界面粗さ,表面近傍層結晶分布などの構造解析を行う。原理的には表面から深さ方向に0.1nmの分解能を有し,表面のみならず界面構造の知見を非破壊で得ることができるため,例えば表面多層膜,人工格子膜,極薄酸化膜,表面腐食変質層などの構造解析に適している。表面深さ方向解析の測定応用例として多結晶酸化鉄表面層を取上げた。鉄酸化膜表面がヘマタイトとマグネタイトの2層構造であることを深さ方向0.1nmの分解能で示した。

シソーラス用語： *小角X線散乱 ,  X線反射 ,  *薄膜 ,  表面構造 ,  分解能 ,  空間 ,  深さ分析 ,  構造解析 ,  反射率 ,  *表層構造 ,  すれすれ入射 ,  純鉄 ,  多層構造
準シソーラス用語： マグネタイト ,  逆空間 ,  微小角入射 ,  *表面層構造 ,  ヘマタイト

分類 (3件)： X線回折法  (BK01020I) ,  薄膜一般  (BK14010X) ,  固体の表面構造一般  (BK15010E)

引用文献 (17件)：

• (1) W. C. Marra, P. Eisenberger and A. Y. Cho: J. Appl. Phys., 50(1979), 6927.
• (2) I. K. Robinson: Phys. Rev., B33(1986), 3830.
• (3) P. H. Fuoss, D. W. Kisker, F. J. Lamelas, G. B. Stephenson, P. Imperatori and S. Brennan: Phys. Rev. Lett., 69(1992), 2791.
• (4) Y. Fujii, K. Yoshida, T. Nakamura and K. Yoshida: Rev. Sci., Instrum., 68(1997), 1975.
• (5) Y. Fujii, T. Komai and K. Ikeda: Surf. Interface Anal., 37(2005), 190-193.

タイトルに関連する用語 (5件)： 微小角入射 ,  X線散乱 ,  薄膜 ,  表面層構造 ,  評価