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J-GLOBAL ID：200902208834355975   整理番号：08A1104076

白色発光素子への応用を目的とした非晶質窒化炭素薄膜の研究

Study of Amorphous Carbon Nitride Films Aiming at White Light Emitting Devices

著者 (7件)： IWANO Yuta (Tsuyama National Coll. Technol., Okayama, JPN) ,  KITTAKA Toshiaki (Okayama Univ. Sci., Okayama, JPN) ,  TABUCHI Hidekazu (Okayama Univ. Sci., Okayama, JPN) ,  SOUKAWA Masaya (Okayama Univ. Sci., Okayama, JPN) ,  KUNITSUGU Shinsuke (Industrial Technol. Center of Okayama Prefecture, Okayama, JPN) ,  TAKARABE Kenichi (Okayama Univ. Sci., Okayama, JPN) ,  ITOH Kunio (Tsuyama National Coll. Technol., Okayama, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 47  号： 10 Issue 1  ページ： 7842-7844  発行年： 2008年10月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 窒化炭素(CN_x)薄膜を用いた白色発光素子の可能性を研究した。CN_x薄膜の作製には,マイクロ波電子サイクロトロン共鳴(ECR)-プラズマ支援化学蒸着(CVD)とRF-スパッタリング装置を用いた。いずれの場合にも,ルミネセンスに対する水素添加された窒化炭素の効果を研究するために,炭素ソースあるいは炭素サブソースとしてCH₄を用いた。ECR-プラズマCVD法によって成長させた薄膜におけるカソードルミネセンス(CL)測定には,赤色,緑色および青色(R/G/B)の三つの発光ピークが観測された。RF-スパッタリング法によって成長させた薄膜に関する光ルミネセンス(PL)測定においても赤色発光が観測され,この発光は水素を含まない薄膜試料では観測されない。X線光電子分光(XPS)解析のデータから,赤色発光はH原子に関係する準位に起因し,青色発光はC-Nボンドに関係する発光であることが分かった。)(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *炭素化合物 ,  *窒化物 ,  化合物半導体 ,  半導体薄膜 ,  非晶質半導体 ,  ECRプラズマ ,  水素化物 ,  プラズマCVD ,  *陰極線ルミネセンス ,  スパッタ蒸着 ,  光ルミネセンス ,  紫外可視発光スペクトル ,  アルカン
準シソーラス用語： 白色発光素子 ,  *窒化炭素

分類 (1件)： 半導体のルミネセンス  (BM08092S)

物質索引 (1件)： メタン

引用文献 (5件)：

• H. K. Jang, G. Kim, Y. S. Lee, and S. W. Whangbo: J. Vac. Sci. Technol. A 17(1999)2607.
• W. J. Hsieh, P. S. Shih, C. C. Liu, C. Y. Wang, and H. C. Shil: Diamond Rail. Mater.14(2005)93.
• R. Reyes, C. Legnani, P. M. Ribeiro Pinto, and M. Cremona: Appl. Phys. Lett.82(2003)4017.
• S. Nitta: Oyo Buturi 69(2000)782 [in Japanese].
• A. C. Ferrari, S. E. Rodil, and J. Robertson: Phys. Rev. B 67(2003)155306.

タイトルに関連する用語 (7件)： 白色 ,  発光素子 ,  応用 ,  非晶質 ,  窒化 ,  炭素薄膜 ,  研究