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J-GLOBAL ID：200902209601117256   整理番号：04A0450195

集積回路での電気的欠陥の検査に対するレーザテラヘルツ蛍光顕微鏡における空間分解能の評価

Evaluation of spatial resolution in Laser-Terahertz Emission Microscope for inspecting electric faults in integrated circuits

著者 (4件)： YAMASHITA M (RIKEN, Wako, JPN) ,  KIWA T (Res. Center for Superconductor Photonics, Suita, JPN) ,  TONOUCHI M (Res. Center for Superconductor Photonics, Suita, JPN) ,  KAWASE K (RIKEN, Wako, JPN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 5354  ページ： 104-111  発行年： 2004年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標題の電気的欠陥に対する,レーザテラヘルツ蛍光顕微鏡法(LT...

シソーラス用語： *集積回路 ,...
準シソーラス用語： LTEM

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分類 (2件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S)

タイトルに関連する用語 (8件)： 集積回路 ,  欠陥 ,  検査 ,  レーザ ,  テラヘルツ ,  蛍光顕微鏡 ,  空間分解能 ,  評価