導電バッフルと石英ガラスストリップによる1m<sup>2</sup>オーダのプラズマ励起単層スロット化導波路アレイのGSM-MoM解析を使用した設計

HIRANO Takuichi; SAKURAI Kimio; HIROKAWA Jiro; ANDO Makoto; IDE Tetsuya; SASAKI Atsushi; AZUMA Kazufumi; NAKATA Yukihiko

文献

J-GLOBAL ID：200902210310441909 整理番号：06A0338555

導電バッフルと石英ガラスストリップによる1m²オーダのプラズマ励起単層スロット化導波路アレイのGSM-MoM解析を使用した設計

Design of 1 m² Order Plasma Excitation Single-Layer Slotted Waveguide Array with Conducting Baffles and Quartz Glass Strips Using the GSM-MoM Analysis

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著者 (8件)： , , , , , , ,
資料名：
巻： E89-B 号： 5 ページ： 1627-1635 発行年： 2006年05月01日
JST資料番号： L1369A ISSN： 0916-8516 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

筆者らは,スロット開口の前部に真空ウィンドウと呼ぶ導電バッフ...

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アンテナ

引用文献 (27件)：

Technical Committee of Microwave Plasma, The Institute of Electrical Engineers of Japan (IEEJ) ed. Microwave Plasma Technology. 2003
GOTO, N. Circularly polarized radial-line slot antennas. IECE Technical Report. 1980, A・P80-57
YAMAMOTO, T. Design of radial line slot antenna at 8.3GHz for large area uniform plasma generation. Jpn. J. Appl. Phys. 1, Regul. Pap. Short Notes Rev. Pap. 1999, 38, 4A, 2082-2088
YASAKA, Y. Development of a slot-excited planar microwave discharge device for uniform plasma processing. IEEE Trans. Plasma Sci. 2004, 32, 1, 101-107
GOTO, N. A planar waveguide slot antenna of single layer structure. IEICE Technical Report. 1988, A・P88-39

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導電バッフルと石英ガラスストリップによる1m2オーダのプラズマ励起単層スロット化導波路アレイのGSM-MoM解析を使用した設計

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