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J-GLOBAL ID：200902210407788539   整理番号：03A0762872

窒化ほう素ナノ膜からの電界放出及びその黒鉛ナノファイバへの応用

Electron field emission from boron nitride nanofilm and its application to graphite nanofiber

著者 (6件)： KIMURA C (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  YAMAMOTO T (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  FUNAKAWA S (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  HIRAKAWA M (ULVAC, Inc., Ibaraki, JPN) ,  MURAKAMI H (ULVAC, Inc., Ibaraki, JPN) ,  SUGINO T (Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 21  号： 5  ページ： 2212-2216  発行年： 2003年09月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 1071-1023  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 六方晶多結晶窒化ほう素(BN)膜をSi基板上にプラズマ支援化...

シソーラス用語： *窒化ホウ素 ,...

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分類 (2件)： 熱電子放出,電界放出  (BM09020S) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (6件)： 窒化ほう素 ,  ナノ膜 ,  電界放出 ,  黒鉛 ,  ナノファイバ ,  応用