文献
J-GLOBAL ID：200902211440593375   整理番号：07A1233075

次世代極端紫外リソグラフィー用の高速シンチレータとしての水熱法成長大型酸化亜鉛単結晶

Hydrothermal method grown large-sized zinc oxide single crystal as fast scintillator for future extreme ultraviolet lithography
著者 (14件)：
TANAKA Momoko

TANAKA Momoko について

(Advanced Photon Res. Center, Japan Atomic Energy Agency, 8-1 Umemidai, Kizugawa, Kyoto 619-0215, JPN)

Advanced Photon Res. Center, Japan Atomic Energy Agency, 8-1 Umemidai, Kizugawa, Kyoto 619-0215, JPN について

, 
NISHIKINO Masaharu

NISHIKINO Masaharu について

(Advanced Photon Res. Center, Japan Atomic Energy Agency, 8-1 Umemidai, Kizugawa, Kyoto 619-0215, JPN)

Advanced Photon Res. Center, Japan Atomic Energy Agency, 8-1 Umemidai, Kizugawa, Kyoto 619-0215, JPN について

, 
YAMATANI Hiroshi

YAMATANI Hiroshi について

(Advanced Photon Res. Center, Japan Atomic Energy Agency, 8-1 Umemidai, Kizugawa, Kyoto 619-0215, JPN)

Advanced Photon Res. Center, Japan Atomic Energy Agency, 8-1 Umemidai, Kizugawa, Kyoto 619-0215, JPN について

, 
NAGASHIMA Keisuke

NAGASHIMA Keisuke について

(Advanced Photon Res. Center, Japan Atomic Energy Agency, 8-1 Umemidai, Kizugawa, Kyoto 619-0215, JPN)

Advanced Photon Res. Center, Japan Atomic Energy Agency, 8-1 Umemidai, Kizugawa, Kyoto 619-0215, JPN について

, 
KIMURA Toyoaki

KIMURA Toyoaki について

(Advanced Photon Res. Center, Japan Atomic Energy Agency, 8-1 Umemidai, Kizugawa, Kyoto 619-0215, JPN)

Advanced Photon Res. Center, Japan Atomic Energy Agency, 8-1 Umemidai, Kizugawa, Kyoto 619-0215, JPN について

, 
FURUKAWA Yusuke

FURUKAWA Yusuke について

(Inst. of Laser Engineering, Osaka Univ., 2-6 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, JPN)

Inst. of Laser Engineering, Osaka Univ., 2-6 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, JPN について

, 
MURAKAMI Hidetoshi

MURAKAMI Hidetoshi について

(Inst. of Laser Engineering, Osaka Univ., 2-6 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, JPN)

Inst. of Laser Engineering, Osaka Univ., 2-6 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, JPN について

, 
SAITO Shigeki

SAITO Shigeki について

(Inst. of Laser Engineering, Osaka Univ., 2-6 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, JPN)

Inst. of Laser Engineering, Osaka Univ., 2-6 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, JPN について

, 
SARUKURA Nobuhiko

SARUKURA Nobuhiko について

(Inst. of Laser Engineering, Osaka Univ., 2-6 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, JPN)

Inst. of Laser Engineering, Osaka Univ., 2-6 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, JPN について

, 
NISHIMURA Hiroaki

NISHIMURA Hiroaki について

(Inst. of Laser Engineering, Osaka Univ., 2-6 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, JPN)

Inst. of Laser Engineering, Osaka Univ., 2-6 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, JPN について

, 
MIMA Kunioki

MIMA Kunioki について

(Inst. of Laser Engineering, Osaka Univ., 2-6 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, JPN)

Inst. of Laser Engineering, Osaka Univ., 2-6 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, JPN について

, 
KAGAMITANI Yuji

KAGAMITANI Yuji について

(Inst. of Multidisciplinary Res. for Advanced Materials, Tohoku Univ., 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, JPN)

Inst. of Multidisciplinary Res. for Advanced Materials, Tohoku Univ., 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, JPN について

, 
EHRENTRAUT Dirk

EHRENTRAUT Dirk について

(Inst. of Multidisciplinary Res. for Advanced Materials, Tohoku Univ., 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, JPN)

Inst. of Multidisciplinary Res. for Advanced Materials, Tohoku Univ., 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, JPN について

, 
FUKUDA Tsuguo

FUKUDA Tsuguo について

(Inst. of Multidisciplinary Res. for Advanced Materials, Tohoku Univ., 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, JPN)

Inst. of Multidisciplinary Res. for Advanced Materials, Tohoku Univ., 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, JPN について


資料名：
Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)

Applied Physics Letters について


巻： 91  号： 23  ページ： 231117-231117-3  発行年： 2007年12月03日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
水熱法で成長させた酸化亜鉛(ZnO)結晶の13.9nm波長極...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
*酸化亜鉛

酸化亜鉛 について

,...
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
水熱法

水熱法 について


   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=07A1233075&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=H0613A") }}
分類 (1件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
その他の無機化合物の結晶成長 
(BK13060T)

その他の無機化合物の結晶成長 について

タイトルに関連する用語 (9件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
次世代

次世代 について

, 
極端紫外

極端紫外 について

, 
リソグラフィー

リソグラフィー について

, 
シンチレータ

シンチレータ について

, 
水熱法

水熱法 について

, 
成長

成長 について

, 
大型

大型 について

, 
酸化亜鉛

酸化亜鉛 について

, 
単結晶

単結晶 について


前のページに戻る

TOP

BOTTOM