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J-GLOBAL ID：200902211609770174   整理番号：03A0798074

マイクロパターン基板へのニッケル電析においてプロパルギルアルコールの形状制御剤として作用する最適条件に関するシミュレーション

Simulations on the Optimum Conditions for Propargyl Alcohol to Function as a Shape Control Agent in the Process of Nickel Electrodeposition onto a Micropatterned Substrate

著者 (3件)： MATSUDA I (Waseda Univ., Tokyo, JPN) ,  ASA F (Waseda Univ., Tokyo, JPN) ,  OSAKA T (Waseda Univ., Tokyo, JPN)
資料名： 電気化学および工業物理化学  (Electrochemistry)
巻： 71  号： 11  ページ： 912-919  発行年： 2003年11月05日 
JST資料番号： G0072A  ISSN： 1344-3542  CODEN： EECTFA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロパターン基板へのニッケル電析において,スルファミン酸...

シソーラス用語： *ニッケル ,...

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分類 (3件)： 電極過程  (CB07040U) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  電気めっき  (WC08023B)

物質索引 (1件)： プロパルギルアルコール

引用文献 (15件)：

• KARDOS, O. Advances in Electrochemistry and Electrochemical Engineering. 1962
• KARDOS, O. Plating. 1974, 61, 129,229,316
• DINI, J. W. Electrodeposition, The Materials Science of Coating and Substrate. 1993, 195
• DUKOVIC, J. O. J. Electrochem. Soc. 1990, 137, 3748
• JORDAN, K. G. J. Electrochem. Soc. 1991, 138, 1251

タイトルに関連する用語 (7件)： マイクロパターン ,  ニッケル ,  電析 ,  プロパルギルアルコール ,  形状制御 ,  最適条件 ,  シミュレーション