YドープのAl合金膜から作製された陽極酸化の薄いキャパシタの電気的性質

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J-GLOBAL ID：200902212598416116 整理番号：05A0876503

Electrical Properties of a Thin Anodized Capacitor Made of Y-Doped Al Alloy Film

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資料名：
巻： 44 号： 9A ページ： 6731-6735 発行年： 2005年09月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

5at.%Yの原子のスパッタ蒸着したAl-Y合金膜を用いてA...

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引用文献 (17件)：

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