RFプラズマ中で生成したZnOナノ粒子の構造と光学スペクトル

SATO T; TANIGAKI T; SUZUKI H; SAITO Y; KIDO O; KIMURA Y; KAITO C; TAKEDA A; KANEKO S

文献

J-GLOBAL ID：200902212607910200 整理番号：03A0494469

RFプラズマ中で生成したZnOナノ粒子の構造と光学スペクトル

Structure and optical spectrum of ZnO nanoparticles produced in RF plasma

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資料名：
巻： 255 号： 3/4 ページ： 313-316 発行年： 2003年08月
JST資料番号： B0942A ISSN： 0022-0248 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

アルゴンと酸素の混合物においてプラズマ電極直下の加熱されたボ...

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半導体薄膜

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