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J-GLOBAL ID：200902212774554504   整理番号：03A0301638

後方散乱型テラヘルツ電磁波イメージングによる半導体IC断線評価

著者 (2件)： 紀和利彦 (阪大 超伝導セ) ,  斗内政吉 (阪大 超伝導セ)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 50th  号： 3  ページ： 1183  発行年： 2003年03月27日 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *マイクロ波分光法 ,...

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分類 (2件)： 赤外・遠赤外領域の分光法と分光計  (BD07042H) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (6件)： 後方散乱 ,  テラヘルツ電磁波 ,  イメージング ,  半導体IC ,  断線 ,  評価