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J-GLOBAL ID：200902212828579400   整理番号：09A0783158

リングレーザジャイロを指向したSi(111)面可動ミラーの試作

Movable Silicon Mirrors Designed for an MEMS Ring Laser Gyroscope

著者 (4件)： 前家純二 (兵庫県大) ,  橋本泰知 (兵庫県大) ,  藤田孝之 (兵庫県大) ,  前中一介 (兵庫県大)
資料名： 電気学会フィジカルセンサ研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： PHS-09  号： 16-42  ページ： 115-118  発行年： 2009年07月23日 
JST資料番号： L2897B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： リングレーザジャイロ(RLG)は,安定性や精度は非常に高いが,従来の構造ではサイズが大きく高価であるため,使用用途が制限されている。そこで,MEMS技術を用いてRLGを作製するMEMS-RLGの研究を行ってきた。ここでは,MEMS-RLGの光路長調節に用いる可動ミラーおよびSOA(半導体光増幅器)の光を集光するレンズのアライメント調節に用いるレンズ位置調節機構の作製について報告した。可動ミラーに電圧を印加することで駆動でき,MEMS-RLGの作製誤差の補償として利用可能なことを確認した。

シソーラス用語： *レーザジャイロ ,  *リングレーザ ,  *反射鏡 ,  アクチュエータ ,  光学素子 ,  RIE【エッチング】 ,  MEMS ,  半導体光増幅器 ,  位置制御 ,  レンズ
準シソーラス用語： 可動性 ,  *MEMSミラー ,  DRIE

分類 (2件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K) ,  レーザの応用  (BD04100V)

引用文献 (4件)：

• A. Lawrence, “Modem inertial technology”, Springer, 1998
• 田村 他, 電子情報通信学会技術研究報告, Vol.106, No.186, pp. 37-42.
• T. Harayama, et al., Phys. Rev. E 76, 016212, 2007.
• K. Maeda, et al., Tech Dig. of the 19th Sensor Sym., pp. 55-58, 2002.

タイトルに関連する用語 (4件)： レーザジャイロ ,  Si ,  可動ミラー ,  試作