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J-GLOBAL ID：200902213814342765   整理番号：09A0599173

キャピラリーによるイオンビームの収束

Focusing of Ion Beams by Using a Capillary

著者 (6件)： 渡辺幸次 (産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門) ,  近藤貢二 (産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門) ,  藤原幸雄 (産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門) ,  齋藤直昭 (産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門) ,  野中秀彦 (産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門) ,  一村信吾 (産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門)
資料名： Journal of the Vacuum Society of Japan  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 52  号： 3  ページ： 117-120 (J-STAGE)  発行年： 2009年 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 1882-2398  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 工業製品であり製作精度に優れたワイアーボンディング用ルビーキャピラリーを用いて,Ar⁺・加速エネルギー4keVビーム電流密度3x10^-6A/cm²と,比較的低エネルギー高密度のイオンビームを,安定にキャピラリーを通過させられることが分かった。また,イオンビームをキャピラリーに通すと,多量の二次電子が生ずることが分かり,ファラデーカップによる正イオンビームの計測では,正のバイアス電位をかける通常の計測手法とは逆に,負のバイアス電位を印加する必要があることが分かった。出口径の小さいキャピラリーにイオンビームを安定に通すためには,キャピラリー内で生じている現象の解析と照射ビームの最適化が必要になることが示唆された。

シソーラス用語： *イオンビーム ,  *収束 ,  *アルゴン ,  電流密度 ,  *管 ,  *Faradayカップ ,  二次電子放出 ,  バイアス ,  *最適化 ,  *改変
準シソーラス用語： キャピラリーチューブ

分類 (1件)： 電子ビーム,イオンビーム  (BD02030F)

引用文献 (2件)：

• 1) T. Nebiki et al.: J. Vac. Sci. Technol. A, 21 (2003) 1671.
• 2) T. Ikeda, et al.: Appl Phys. Letter, 89 (2006) 163502

タイトルに関連する用語 (3件)： キャピラリー ,  イオンビーム ,  収束