文献
J-GLOBAL ID：200902215455303387   整理番号：05A0341616

急速熱処理の非線形システム同定

Nonlinear system identification of rapid thermal processing
著者 (2件)：
TIAN Caizhong

TIAN Caizhong について

(Tokyo Electron LTD., Tokyo, JPN)

Tokyo Electron LTD., Tokyo, JPN について

, 
FUJII Takao

FUJII Takao について

(Osaka Univ., Osaka, JPN)

Osaka Univ., Osaka, JPN について


資料名：
Control Engineering Practice  (Control Engineering Practice)

Control Engineering Practice について


巻： 13  号： 6  ページ： 681-687  発行年： 2005年06月 
JST資料番号： W0647A  ISSN： 0967-0661  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
オンライン拡張Kalmanフィルタ(EKF)ベースパラメータ...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
*RTA【熱処理】

RTA【熱処理】 について

,...
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
RTP【熱処理】

RTP【熱処理】 について


   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=05A0341616&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=W0647A") }}
分類 (1件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

タイトルに関連する用語 (2件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
急速熱処理

急速熱処理 について

, 
非線形システム同定

非線形システム同定 について


前のページに戻る

TOP

BOTTOM