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J-GLOBAL ID:200902216257621167   整理番号:06A0948660

低誘電率樹脂埋め込みされたスーパーコネクトレベル配線の要素技術に対する電気的信頼性の評価

Electric Reliability Evaluation of the Super Connect Leveled Fine Circuit Patterns Covered with Low k Resin
著者 (3件):
資料名:
巻:号:ページ: 563-568  発行年: 2006年11月01日 
JST資料番号: S0579C  ISSN: 1343-9677  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (3件):
分類
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プリント回路  ,  固体デバイス製造技術一般  ,  固体デバイス計測・試験・信頼性 
タイトルに関連する用語 (4件):
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