温度差センサのヒータ駆動切替えによる広範囲圧力測定

高嶋徳明; 木村光照

文献

J-GLOBAL ID：200902217490204602 整理番号：09A1282828

温度差センサのヒータ駆動切替えによる広範囲圧力測定

Wide Pressure Range Measurement due to the Exchange of Heater Driving of the Temperature Difference Sensor

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資料名：
巻： 129 号： 12 ページ： 444-449 (J-STAGE) 発行年： 2009年
JST資料番号： L3098A ISSN： 1341-8939 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

従来のピラニ真空センサの使用可能な圧力範囲は,数kPaから1Pa程度の中真空までであり,感度は高くなかった。本研究では,温度差計測とセンシング領域の強制振動による対流に基づく対流熱伝達の採用および高い気圧領域でのヒータの加熱駆動法と計測点の切替えによる,新しい薄膜ピラニ真空センサを提案した。これは,高真空(低い気圧領城)ではA領域とB領域の温度差が,原理的にゼロとなるゼロ位法を利用して電流検出型熱電対による温度差検出法での測定を行う。一方,0.1気圧以上の高い気圧領域では,マイクロヒータをパルス駆動してカンチレバを振動させて強制対流を起こすことで感度を向上させて,数気圧以上でも高感度計測ができるようにしたものである。その結果,従来では到達できなかつた1個の薄膜ピラニ真空センサで,高真空の4×10^-3Pa~2.5×10⁵Paの約8桁の広範囲にわたって計測を行うことができる高感度ピラニ真空センサを実現できた。

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力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器

引用文献 (6件)：

PUERS, R. The Nano Pirani-an extremely miniaturized pressure sensor fabricated by focused ion beam rapid prototyping. Sensors and Actuators A : Physical. 2002, 97-98, 208-214
DOMS, M. Micro Pirani pressure sensor for atmospheric pressure. Sensor 2005 Proceedings. 2005, 1, 115-120
VAN HERWAARDEN, A. W. Thermal sensors based on the Seebeck effect. Sensors and Actuators A. 1986, 10, 321-346
LEE, S. S. Short-circuit measurement by Seebeck current detection of a single thermocouple and its application. Sensors and Actuators, A. 2007, 139, 104-110
TAKASHIMA, N. Proposal of a New Type Thin Film Vacuum Sensor Using the Short Circuit Current-Detection Type Thermocouple. Proceedings of the 25th Sensor Symposium, 2008. 2008, 85-88

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