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J-GLOBAL ID：200902221113891155   整理番号：05A0564428

静電マイクロモータとその信頼性

Electrostatic micromotor and its reliability
著者 (3件)：
ZHANG Wenming

ZHANG Wenming について

(State Key Lab. of Vibration, Shock and Noise, Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN)

State Key Lab. of Vibration, Shock and Noise, Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN について

, 
MENG Guang

MENG Guang について

(State Key Lab. of Vibration, Shock and Noise, Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN)

State Key Lab. of Vibration, Shock and Noise, Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN について

, 
LI Hongguang

LI Hongguang について

(State Key Lab. of Vibration, Shock and Noise, Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN)

State Key Lab. of Vibration, Shock and Noise, Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN について


資料名：
Microelectronics Reliability  (Microelectronics Reliability)

Microelectronics Reliability について


巻： 45  号： 7-8  ページ： 1230-1242  発行年： 2005年07月 
JST資料番号： C0530A  ISSN： 0026-2714  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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1987年における静電マイクロモータの出現以来,微小電気機械...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*マイクロモータ

マイクロモータ について

,...
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分類 (3件)：
分類
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電動機 
(NB07030U)

電動機 について

,  固体デバイス計測・試験・信頼性 
(NC03040G)

固体デバイス計測・試験・信頼性 について

,  固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

タイトルに関連する用語 (1件)：
タイトルに関連する用語
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マイクロモータ

マイクロモータ について


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