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J-GLOBAL ID：200902221715644370   整理番号：03A0393163

光ポリマー膜を用いた冷紫外光スタンピング法による高解像度パターン再現

High-Resolution Pattern Reproduction by Cold Ultra Violet Stamping in Optical Polymeric Films

著者 (4件)： GUSTAFIK P (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  SUGIHARA O (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  FUJIMURA H (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  OKAMOTO N (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 42  号： 4B  ページ： 2541-2544  発行年： 2003年04月30日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 光ポリマー膜を用いて,導波路型デバイスの新作製方法について述...

シソーラス用語： 露光 ,...

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分類 (1件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

物質索引 (3件)： N-メチルジエタノールアミン ,  エオシン ,  ペンタエリスリトールトリアクリラート

引用文献 (9件)：

• 1) S. Y. Chou, P. R. Krauss and P. J. Renstrom: Appl. Phys. Lett. 67 (1995) 3114.
• 2) S. Y. Chou, P. R. Krauss and P. J. Renstrom: Science 272 (1996) 85.
• 3) A. Espanet, C. Ecoffet and D. J. Lougnot: J. Polym. Sci. A 37 (1999) 2075.
• 4) M. Beggren, A. Dodabalopur, R. E. Slusher, A. Timko and O. Nalamasu: Appl. Phys. Lett. 72 (1998) 410.
• 5) O. Sugihara, M. Nakanishi, H. Fujimura, Ch. Egami and N. Okamoto: Opt. Lett. 25 (2000) 1028.

タイトルに関連する用語 (4件)： ポリマー膜 ,  紫外光 ,  スタンピング法 ,  高解像度