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J-GLOBAL ID：200902222952386640   整理番号：05A1045226

HOPG基板上の高拡大-ナノメータスケールAu粒子におけるSEMイメージ分解能評価のための参照試料

Reference sample for the evaluation of SEM image resolution at a high magnification-nanometer-scale Au particles on an HOPG substrate

著者 (3件)： OKAYAMA Shigeo (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  HARAICHI Satoshi (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  MATSUHATA Hirofumi (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
資料名： Journal of Electron Microscopy  (Journal of Electron Microscopy)
巻： 54  号： 4  ページ： 345-350  発行年： 2005年08月 
JST資料番号： W1384A  ISSN： 0022-0744  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 走査電子顕微鏡(SEM)の分解能を評価するための,新しい試料...

シソーラス用語： *走査電子顕微鏡 ,...
準シソーラス用語： HOPG

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分類 (1件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

引用文献 (10件)：

• FRANK, J. Observation of the relative phases of electron microscopic phase contrast zones with the aid of the optical diffractometer. Optik. 1972, 35, 608-612
• JOY, D C. Metrics of resolution and performance for CD-SEMs. Proc. SPIE. 2000, 3998, 108-114
• MATUSYA, M. Effective parameters of estimating SEM resolution by Fourier transform method. Proceedings of the Eighth Asia-Pacific Conference on Electron Microscopy, Kanazawa, 2004. 2004, 50-51
• ISHITANI, T. Contrast-to gradient method for the evaluation of image resolution in scanning electron microscopy. J. Electron Microsc. 2002, 51, 369-382
• FRANCIS, G M. Diffusion controlled growth of metallic nanoclusters at selected surface sites. J. Appl. Phys. 1996, 79, 2942-2947

タイトルに関連する用語 (8件)： HOPG ,  拡大 ,  Au ,  SEM ,  イメージ分解能 ,  評価 ,  参照 ,  試料