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J-GLOBAL ID:200902223098267191   整理番号:03A0333147

金属粒子適用マイクロファブリケーションの基礎的研究 第1報:鋼の微小引っかきに及ぼす第2相合金の影響

Basic research on microfabrication applied to metal particles. 1st report:Effect of second phase in steels on microscratching.
著者 (6件):
資料名:
巻: 47  号:ページ: 263-268  発行年: 2003年05月01日 
JST資料番号: L0473A  ISSN: 0914-2703  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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3次元構造のマイクロ部品を製作するとき,マイクロ機械加工が不...
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分類 (2件):
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研削  ,  固体デバイス製造技術一般 
引用文献 (12件):
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