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J-GLOBAL ID：200902223328126967   整理番号：09A1286126

多層構造微細流体プローブヘッド

Multilayered microfluidic probe heads

著者 (3件)： LOVCHIK Robert D (IBM Res.-Zurich, Rueschlikon, CHE) ,  DRECHSLER Ute (IBM Res.-Zurich, Rueschlikon, CHE) ,  DELAMARCHE Emmanuel (IBM Res.-Zurich, Rueschlikon, CHE)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 19  号： 11  ページ： 115006,1-8  発行年： 2009年11月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 生体応用用途と異なり,可能な限り小パターンと広範囲の液体と化学物質に対応した,表面処理応用用に有用な多層構造微細流体プローブ(MFP)ヘッドを作製し,実装するための新方法について報告した。この新ヘッドは,微細加工Si蓋,流体力学流閉じ込め(HFC)用チップおよび標準の端子と付属品からなる。HFCチップを作製するのに薄型Siウエハ(例えば厚さ100μm)を用いることにより,従来の深堀り反応性イオンエッチング(DRIE)または集束イオンビーム(FIB)を用いて,10μm以下の横寸法をもつ明確な開口を作製することが可能である。この場合,そのヘッドの機械強度はSi蓋により得ることができた。標準の端子と付属品およびポリジメチルシロキサン(PDMS)の成形ブロックを用いることにより,ヘッド組立に要する作業を削減した。また,MFPヘッドは,開口が小さく,充分にファンアウトするための水平微細流路と相互に近接するため,Si蓋上に多数の端子を付加するのに充分な余地を残すことができ,多くの処理流体の使用により適合した。また,1流体を用いた表面の並列処理のため,多数の微細流路と開口を供給する一対のビアに1Si蓋を分配可能であった。高pH現像液を用いて,直接レジストを現像し,レジスト中にテーパ形構造を作製することにより,表面上に蛋白質をパターン化するヘッド例を示した。MFP技術は,表面パターン化,材料処理,表面上生体分子と細胞の堆積と除去,表面上生体分子と細胞の分析,表面上化学物質の勾配形成,複合生体試料の研究および異常プロファイルをもつ構造の形成に非常に有望な可能性を持っている。

シソーラス用語： フルイディクス ,  *マイクロマシニング ,  *流体素子 ,  *プローブ ,  *多層構造 ,  ケイ素 ,  ウエハ【IC】 ,  RIE【エッチング】 ,  集束イオンビーム ,  開口 ,  ポリジメチルシロキサン ,  チャネル ,  テーパ構造 ,  *記録ヘッド ,  マイクロフルイディクス ,  マイクロチャネル ,  ナノチャネル
準シソーラス用語： DRIE ,  ナノ流路

分類 (1件)： 流体式制御機器  (IC02030J)

タイトルに関連する用語 (4件)： 多層構造 ,  微細 ,  流体 ,  プローブ