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J-GLOBAL ID：200902223797504271   整理番号：04A0357072

MEMSプローブカード用の多層電気めっき微小ばねアレイ

MULTI-LAYER ELECTROPLATED MICRO-SPRING ARRAY FOR MEMS PROBE CARD
著者 (4件)：
KATAOKA K

KATAOKA K について

(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)

Univ. Tokyo, Tokyo, JPN について

, 
ITOH T

ITOH T について

(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)

Univ. Tokyo, Tokyo, JPN について

, 
INOUE K

INOUE K について

(JSR Corp., Saitama, JPN)

JSR Corp., Saitama, JPN について

, 
SUGA T

SUGA T について

(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)

Univ. Tokyo, Tokyo, JPN について


資料名：
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)

Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems について


巻： 17th  ページ： 733-736  発行年： 2004年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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アレイ状配置のI/OパッドをもつICデバイスの試験に用いる,...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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マイクロマシン

マイクロマシン について

,...
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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ばねアレイ

ばねアレイ について


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分類 (2件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
緩衝器,ばね 
(QB01110U)

緩衝器,ばね について

,  電気接点 
(NA05070V)

電気接点 について

タイトルに関連する用語 (7件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
MEMS

MEMS について

, 
プローブカード

プローブカード について

, 
多層

多層 について

, 
電気めっき

電気めっき について

, 
微小

微小 について

, 
ばね

ばね について

, 
アレイ

アレイ について


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