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文献
J-GLOBAL ID:200902224550419022   整理番号:07A0066201

アルミ磁気ディスク基板の超高圧力・超高速度ポリシングにおけるポリシャ寿命の検討(第1報)-一層ナップ構造ポリシャの場合-

Investigations on Polisher Life in Ultra-high Pressure and Speed Polishing of Aluminum Type of Magnetic Disk Substrate (1st Report)-In Case of Single Nap Layer Type of Polisher-
著者 (4件):
資料名:
巻: 73  号:ページ: 107-111  発行年: 2007年01月05日 
JST資料番号: F0268B  ISSN: 1348-8716  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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著者らはコロイダルシリカ(SiO2)砥...
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分類 (2件):
分類
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研削  ,  記憶装置 
引用文献 (5件):

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