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J-GLOBAL ID：200902224550419022   整理番号：07A0066201

アルミ磁気ディスク基板の超高圧力・超高速度ポリシングにおけるポリシャ寿命の検討(第1報)-一層ナップ構造ポリシャの場合-

Investigations on Polisher Life in Ultra-high Pressure and Speed Polishing of Aluminum Type of Magnetic Disk Substrate (1st Report)-In Case of Single Nap Layer Type of Polisher-

著者 (4件)： 安井平司 (熊本大 工) ,  山口寛太 (熊本大 大学院自然科学研究科) ,  松川誠治 (熊本大 大学院自然科学研究科) ,  山崎穣 (熊本大 大学院自然科学研究科)
資料名： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
巻： 73  号： 1  ページ： 107-111  発行年： 2007年01月05日 
JST資料番号： F0268B  ISSN： 1348-8716  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 著者らはコロイダルシリカ(SiO₂)砥...

シソーラス用語： *磁気ディスク ,...
準シソーラス用語： シリカ

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分類 (2件)： 研削  (QC03000R) ,  記憶装置  (JC04060F)

引用文献 (5件)：

• 安井平司. アルミナ砥粒による磁気ディスク基板の高平滑ポリシングに関する研究 (第1報). 精密工学会誌. 1994, 60, 1, 128
• 安井平司. アルミナ砥粒による磁気ディスク基板の高平滑ポリシングに関する研究 (第2報). 精密工学会誌. 1994, 60, 11, 1631
• 佐藤郁. 磁気ヘッドスライダの極低浮上化に及ぼす基板の超平滑ポリシングの効果. 精密工学会誌. 1994, 60, 9, 1268
• YASUI, H. High Removal Rate Ultra-Smoothness Polishing of NiP Plated Aluminum Magnetic Disk Substrate by Means of High Polishing Speed with High Polishing Pressure. Proc. ASPE 17th Annual Meeting, 2002. 2002
• YASUI, H. Polisher Life in High Speed Ultra-Smoothness Polishing of NiP Plated Aluminum Magnetic Disk Substrate. Proc. ASPE 19th Annual Meeting, 2004. 2004

タイトルに関連する用語 (7件)： アルミ ,  磁気ディスク基板 ,  高圧力 ,  超高速度 ,  ポリシング ,  寿命 ,  ナップ構造