炭化けい素の電気化学機械研磨

文献

J-GLOBAL ID：200902225171491413 整理番号：04A0856956

Electro-Chemical Mechanical Polishing of Silicon Carbide

出版者サイト複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=04A0856956&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=04A0856956&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=D0277B") }}

著者 (4件)： , , ,
資料名：
巻： 33 号： 5 ページ： 481-486 発行年： 2004年05月
JST資料番号： D0277B ISSN： 0361-5235 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

炭化けい素(SiC)基板を高速で研磨し,特に<1120>に対...

,...

続きはJDreamIII（有料）にて {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=04A0856956&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=D0277B") }}

固体デバイス製造技術一般 , その他の表面処理

前のページに戻る