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J-GLOBAL ID：200902225593561864   整理番号：04A0588412

マイクロリソグラフィー光学のための直交収差関数

Orthogonal Aberration Functions for Microlithographic Optics

著者 (2件)： MATSUYAMA T (Nikon Corp., Kumagaya, JPN) ,  UJIKE T (Nikon Corp., Kumagaya, JPN)
資料名： Optical Review  (Optical Review)
巻： 11  号： 4  ページ： 199-207  発行年： 2004年07月 
JST資料番号： L2272A  ISSN： 1340-6000  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロリソグラフィー(ML)投影レンズなどの高NA広視野光...

シソーラス用語： *レーザリソグラフィー ,...

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分類 (3件)： 光の像形成  (BD03050I) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  その他の光学機器  (QF05060C)

引用文献 (5件)：

• ZERNIKE, F. Physica. 1934, 1, 689
• MATSUYAMA, T. Opt. Rev. 2003, 10, 325
• MATSUYAMA, T. Technical Digest, 3rd Int. Conf. Optics-Photonics Design and Fabrication, Tokyo, 2002. 2002
• MATSUYAMA, T. Opt. Design. 2003
• BORN, M. Principles of Optics. 1980, 203

タイトルに関連する用語 (4件)： マイクロリソグラフィー ,  光学 ,  収差 ,  関数