文献

J-GLOBAL ID：200902225615907220   整理番号：06A0239360

弱電離プラズマ中での孤立粒子の挙動解析

Behavior of Single Particle in Glow Discharge Plasma

著者 (2件)： 松井功 (化学技術戦略推進機構) ,  松井功 (東芝 研開セ)
資料名： エアロゾル研究  (Journal of Aerosol Research)
巻： 21  号： 1  ページ： 45-50  発行年： 2006年03月20日 
JST資料番号： L0641A  ISSN： 0912-2834  CODEN： EAKEEA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 一定電場中で,正負イオンの衝突による微粒子の帯電に関する時定...

シソーラス用語： RF放電 ,...
準シソーラス用語： *プラズマプロセシング ,...

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分類 (2件)： エーロゾル  (CB11030Y) ,  プラズマ応用  (BJ02110K)

引用文献 (15件)：

• STOFFELS, E. Dust Formation and Charging in an Ar/SiH_4 Radio-frequency Discharge. J. Vac. Sci. Technol., A. 1996, 14, 556-561
• SELWYN, G. Rastered Laser Light Scattering Studies during Plasma Processing : Particle Contamination Trapping Phenomena. J. Vac. Sci. Technol., A. 1991, 9, 2817-2824
• SHIRATANI, M. In situ Polarization-sensitive Laser-light-scattering Method for Simultaneous Measurements of Two-dimensional Spatial Size and Density Distributions of Particles in Plasmas. J. Vac. Sci. Technol., A. 1996, 14, 603-607
• MOTT-SMITH, H. M. The Theory of Collectors in Gaseous Discharges. Phys. Rev. 1926, 28, 727-763
• DAUGHERTY, J. E. Sheath Structure around Particles in Low-pressure Discharges. J. Appl. Phys. 1992, 72, 3934-3942

タイトルに関連する用語 (1件)： 挙動解析