6H-SiC(0001)表面上のエピタキシャル窒酸化けい素層

SHIRASAWA Tetsuroh; HAYASHI Kenjiro; MIZUNO Seigi; TANAKA Satoru; NAKATSUJI Kan; KOMORI Fumio; TOCHIHARA Hiroshi

文献

J-GLOBAL ID：200902226451174860 整理番号：07A0502941

6H-SiC(0001)表面上のエピタキシャル窒酸化けい素層

Epitaxial Silicon Oxynitride Layer on a 6H-SiC(0001) Surface

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資料名：
巻： 98 号： 13 ページ： 136105.1-136105.4 発行年： 2007年03月30日
JST資料番号： H0070A ISSN： 0031-9007 CODEN： PRLTAO 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

6H-SiC(0001)表面上に,新しい表面化合物である窒酸...

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酸化物薄膜

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