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J-GLOBAL ID：200902229323487269   整理番号：05A1047946

AlN薄膜圧力センサーの電気モデルによる基本特性の解析

Analysis of the Basic Characteristic by Electrical Model of Aluminum Nitride Thin Film Pressure Sensor

著者 (5件)： 大石康宣 (産業技術総合研 実環境計測・診断研究ラボ) ,  岸和司 (産業技術総合研 実環境計測・診断研究ラボ) ,  秋山守人 (産業技術総合研 実環境計測・診断研究ラボ) ,  野間弘昭 (産業技術総合研 実環境計測・診断研究ラボ) ,  田原竜夫 (産業技術総合研 実環境計測・診断研究ラボ)
資料名： 日本セラミックス協会学術論文誌  (Journal of the Ceramic Society of Japan)
巻： 113  号： 1324  ページ： 816-818  発行年： 2005年12月01日 
JST資料番号： F0382A  ISSN： 0914-5400  CODEN： JCSJEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 高配向性AlN薄膜を用いた圧力センサー素子を単結晶Si上に作...

シソーラス用語： *圧力センサ ,...
準シソーラス用語： 電気モデル

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分類 (2件)： セラミック・磁器の性質  (YC03030G) ,  力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

引用文献 (9件)：

• 1) Nakatsuka, T., Kadoike, T., Hoshino, M., Ishii, H., Gotthard, E., Kawa, T. and Enomoto, Y., Proceeding of Academic Meeting of The Society of Automotive Engineers of Japan, No. 1-99, pp. 13-16 (1999) [in Japanese].
• 2) Ooishi, Y., Noma, H., Kishi, K., Ueno, N., Akiyama, M. and Kamohara, T., J. Ceram. Soc. Japan, Vol. 113, pp. 700-702 (2005) [in Japanese].
• 3) Ueno, N., Akiyama, M., Ikeda, K. and Tateyama, H., Society of Instrument and Control Engineers, Vol. 38, pp. 427-432 (2002) [in Japanese].
• 4) Akiyama, M., Engineering Materials, Vol. 51, pp. 86-87 (2003).
• 5) Akiyama, M., Ueno, N., Nonaka, K., Tateyama, H. and Takahashi, S., Preprints of Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan, Hachioji (2003) pp. 131-131 [in Japanese].

タイトルに関連する用語 (5件)： AlN ,  薄膜 ,  圧力センサー ,  モデル ,  解析