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J-GLOBAL ID：200902231925740180   整理番号：05A0232426

高周波マグネトロン同時スパッタ法により形成したSiC-TiおよびSiC-Al薄膜の摩擦および摩耗特性

Friction and Wear Properties of SiC-Ti and SiC-Al Films Deposited by Simultaneous RF Magnetron Sputtering

著者 (4件)： 加藤昌彦 (広島大 大学院工学研究科) ,  中佐啓治郎 (広島大 大学院工学研究科) ,  ZHENG J (広島大 大学院工学研究科) ,  広田悟史 (広島大 大学院工学研究科)
資料名： 日本機械学会論文集 A編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series A)
巻： 71  号： 702  ページ： 359-366  発行年： 2005年02月25日 
JST資料番号： F0227B  ISSN： 0387-5008  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： チタン基材にコーティングしたSiC薄膜の摩擦・摩耗特性を改善...

シソーラス用語： *薄膜 ,...

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分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

引用文献 (11件)：

• 加藤昌彦. 機論, A. 2001, 67, 658, 1009-1016
• 加藤昌彦. 機論, A. 2003, 69, 688, 1731-1739
• ゲ・ヴェ・サムソノフ. 高融点化合物便覧. 1977, 539
• 菅井秀郎. 応用物理. 1994, 63, 559-567
• 森田正. Ulvac Tech., J. 1996, 45, 10-14

タイトルに関連する用語 (9件)： 高周波 ,  マグネトロン ,  同時スパッタ法 ,  SiC ,  Ti ,  Al ,  薄膜 ,  摩擦 ,  摩耗特性