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J-GLOBAL ID:200902232179676605   整理番号:05A1019024

面熱源を用いた多点同時熱応力割断加工法

Multi-Point Simultaneous Thermal Stress Cleaving Using a Plane Heat Source
著者 (4件):
資料名:
巻: 70  号:ページ: 412-416  発行年: 2004年03月05日 
JST資料番号: F0268A  ISSN: 0912-0289  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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近年,大画面TVやノートPCの普及に伴い,ガラス基板の大型で...
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分類 (2件):
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入出力装置  ,  ガラスの製造 
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