文献

J-GLOBAL ID：200902232253661933   整理番号：05A0883279

Zピンチ放電を用いたEUV光源の研究

著者 (9件)： 坂本敏郎 (東京工大) ,  SONG Inho (東京工大) ,  小林靖典 (東京工大) ,  MOHANTY S. R. (東京工大) ,  渡辺正人 (東京工大) ,  河村徹 (東京工大) ,  沖野晃俊 (東京工大) ,  堀岡一彦 (東京工大) ,  堀田栄喜 (東京工大)
資料名： 電気学会基礎・材料・共通部門大会(CD-ROM)  (Conference of Fundamentals and Materials Society, IEE Japan (CD-ROM))
巻： 2005  ページ： 2).4  発行年： 2005年08月22日 
JST資料番号： L3783B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *紫外光源 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=05A0883279&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=L3783B") }}

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  光源,照明器具  (NB12020F) ,  プラズマ生成・加熱  (BJ02060E)

タイトルに関連する用語 (4件)： Zピンチ ,  放電 ,  EUV光源 ,  研究