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J-GLOBAL ID：200902233934544168   整理番号：04A0310042

SOI基板を用いた静電駆動型ワイングラスモード振動子の基礎検討

著者 (7件)： 山田勉 (日本大 理工) ,  高橋哲也 (日本大 理工) ,  新津宏和 (日本大 理工) ,  西岡泰城 (日本大 理工) ,  池原毅 (産業技術総合研) ,  前田龍太郎 (産業技術総合研) ,  関根好文 (日本大 理工)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2004  号： 春季(CD-ROM)  ページ： H68  発行年： 2004年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *振動子 ,...
準シソーラス用語： ワイングラスモード

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分類 (2件)： 共振器  (NC04050Y) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： SOI基板 ,  静電駆動 ,  振動子 ,  基礎