文献

J-GLOBAL ID：200902233934803589   整理番号：08A0992446

終端状態制御によるガルバノスキャナのナノスケールサーボ制御

Nanoscale Servo Control for Galvano Scanner using Final-State Control

著者 (3件)： 城所隆弘 (宇都宮大) ,  平田光男 (宇都宮大) ,  上田伸治 (キヤノン)
資料名： 電気学会産業計測制御研究会資料  (Papers of Technical Meeting on Industrial Instrumentation and Control and Mechatronics Control, IEE Japan)
巻： IIC-08  号： 161-170  ページ： 43-48  発行年： 2008年09月12日 
JST資料番号： X0577A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年,レーザー加工機において精密な加工を高スループットで行うために,現在より高速・高精度な制御が要求されている。そのようなレーザー加工機の一つにガルバノスキャナがある。これはモータの軸にミラーを接続し,ミラーの角度を制御してレーザー光を反射させ,対象物を加工する装置である。本稿では,過去の文献から,共振特性を含む制御対象のモデルに対する終端状態制御入力の設計と,終端状態制御入力の設計において共振周波数の変動を陽に考慮した入力の周波数整形の両方を行い,機械共振周波数の変動に対するロバスト性を容易に持たせることができる方法を提案した。この方法をガルバノスキャナのシステムに適用し,シミュレーションと実機実験によりその有効性を検証した。

シソーラス用語： 成端 ,  *終状態 ,  状態 ,  *走査装置 ,  *サーボ制御 ,  *レーザ加工機 ,  精密加工 ,  共振周波数 ,  *フィードバック制御 ,  制御
準シソーラス用語： *ガルバノスキャナ ,  スキャナ ,  *ナノスケール ,  終端 ,  *状態フィードバック制御 ,  終端状態制御

分類 (3件)： 制御工学一般  (IC01000V) ,  サーボ機構  (IC03030Q) ,  特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (6件)：

• 山口高司・平田光男・藤本博志:「ナノスケールサーボ制御」, 電機大出版局 (2007)
• T.Totani and H.Nishimura: “Final-State Control using Compensation Input”, Trans. of the SICE, Vol.30, No.3, pp. 253-260(1994)
• M.Hirata, T.Hasegawa and K.Nonami: “Short Seek Control of Hard Disk Drives by using Final-State Control”, IEEJ Transactions on Industry Applications, Vol.125, No.5, pp. 524-529(2005)(in Japanese) 平田光男・長谷川辰紀・野波健蔵:「終端状態制御によるハードディスクのショートシーク制御」, 電学論D, 125, 5, pp. 524-529(2005)
• M.Hirata and Y.Hasegawa: “Vibration minimized trajectory design for information devices”, SICE-ICASE International Joing Conference 2006, pp. 2777-2780(2006)
• N.Hirose, M.Kawafuku, M.Iwasaki and H.Hirai: “Residual Vibration Suppression Using Initial Value Compensation for Repetitive Positioning”, IEEJ Transactions on Industry Applications, Vol.125, No.1, pp. 76-83(2005)(in Javanese) 廣瀬徳晃・川福基裕・岩崎誠・平井洋武:「繰り返し位置決め制御時の初期値補償による残留振動抑制」, 電学論D, 125, 1, pp. 76-83(2005)

タイトルに関連する用語 (5件)： 終端 ,  状態制御 ,  ガルバノスキャナ ,  ナノスケール ,  サーボ制御