マイクロ波プラズマCVDにおけるダイヤモンド成長面の巨視的モフォロジーの制御

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J-GLOBAL ID：200902234350809875 整理番号：05A1046251

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資料名：
巻： 19th ページ： 52-53 発行年： 2005年11月24日
JST資料番号： L1241A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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炭素とその化合物 , 気相めっき , プラズマ応用 , 計算機シミュレーション

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