文献

J-GLOBAL ID：200902234462558433   整理番号：04A0255432

超低k有機ポリマにおける弾性定数と誘電率の分子軌道計算

Molecular Orbital Calculation of the Elastic Modulus and the Dielectric Constant for Ultra Low-k Organic Polymers

著者 (5件)： UERA K (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  KAWAHARA J (Assoc. Super-Advanced Electronics Technol. (ASET), Ibaraki, JPN) ,  MIYOSHI H (Assoc. Super-Advanced Electronics Technol. (ASET), Ibaraki, JPN) ,  HATA N (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  KIKKAWA T (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 43  号： 2  ページ： 504-507  発行年： 2004年02月15日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 膜のオープン容積の影響を考慮した分子軌道法によるULSI用低...

シソーラス用語： *層間絶縁 ,...
準シソーラス用語： ULSI

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=04A0255432&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0520B") }}

分類 (2件)： 高分子固体の物理的性質  (CG02024U) ,  固体デバイス材料  (NC03020K)

物質索引 (4件)： m-ジビニルベンゼン ,  o-ジビニルベンゼン ,  p-ジビニルベンゼン ,  トリシクロ[6.2.0.0^3,6]デカ-1(8),2,6-トリエン

引用文献 (16件)：

• 1) The International Technology Roadmap for Semiconductors, 2001 Edition (Semiconductor Industry Association, 2001).
• 2) S. Lin, C. Jin, L. Lui, M. Tsai, M. Daniels, A. Gonzalez, J. T. Wetzel, K. A. Monnig, P. A. Winebarger, S. Jang, D. Yu and M. S. Liang: Proc. of the 2001 Int. Interconnect Technology Conf., San Francisco, 2001 (IEEE Press, New Jersey, 2001) p. 146.
• 3) K. Yamada, A. Saiki, H. Sakaue, S. Shingubara and T. Takahagi: Jpn. J. Appl. Phys. 40 (2001) 4829.
• 4) T. Ikegami and K. Yamashita: Ext. Abst. ADMETA 2001: Advanced Metallization Conf. 2001: Asian Session, Tokyo, 2001, p. 40.
• 5) T. Takahagi, A. Saiki, H. Sakaue and S. Shingubara: Jpn. J. Appl. Phys. 42 (2003) 157.

タイトルに関連する用語 (4件)： 有機ポリマ ,  弾性定数 ,  誘電率 ,  分子軌道計算