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J-GLOBAL ID：200902235116043547 整理番号：05A0012127
走査プローブリソグラフィ
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著者 (1件)：
杉村博之
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京大 大学院工学研究科
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京大 大学院工学研究科 について
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資料名：
表面技術 (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
表面技術 について
JST資料番号 G0441B ですべてを検索
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巻：
55
号：
12
ページ：
782-787
発行年：
2004年12月01日
JST資料番号：
G0441B
ISSN：
0915-1869
CODEN：
HYGIEX
資料種別：
逐次刊行物 (A)
記事区分：
解説
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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分類 (1件)：
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固体デバイス製造技術一般
(NC03030V)
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引用文献 (57件)：
1) H. Rohrer ; Jpn. J. Appl. Phys., 32, 1335 (1993)
2) P. Avoris ; Acc. Chem. Res., 28, 95 (1995)
3) H. Sugimura and N. Nakagiri ; Jpn. J. Appl. Phys., 34, 3406 (1995)
4) C. F. Quate ; Surf. Sci., 386, 259 (1997)
5) R. M. Nyffebegger and R. M. Penner ; Chem. Rev., 97, 1195 (1997)
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