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J-GLOBAL ID：200902236105523586   整理番号：07A0385519

シリコンの格子摩擦応力の温度依存性を考慮したULSIセル中の転位蓄積の結晶塑性解析

Crystal Plasticity Analysis of Dislocation Accumulation in ULSI Cells with Consideration of Temperature Dependence of the Lattice Friction Stress for Silicon

著者 (4件)： SATO Michihiro (Kitami Inst. Technol., Hokkaido, JPN) ,  OHASHI Tetsuya (Kitami Inst. Technol., Hokkaido, JPN) ,  MARUIZUMI Takuya (Musashi Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  KITAGAWA Isao (Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 340/341  号： Pt.1  ページ： 199-204  発行年： 2007年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： デバイス作製過程においてSiのULSIセルに熱塑性変形で導入...

シソーラス用語： *超LSI ,...
準シソーラス用語： ULSI ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (10件)： シリコン ,  格子 ,  摩擦応力 ,  温度依存性 ,  ULSI ,  セル ,  転位 ,  蓄積 ,  結晶塑性 ,  解析