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J-GLOBAL ID：200902238333778120   整理番号：08A0740717

架橋PTFEの集束イオンビームによる微細加工とその高機能化に関する研究

著者 (7件)： 高澤侑也 (早稲田大 理工研) ,  福武直之 (早稲田大 理工研) ,  裏川達也 (早稲田大 理工研) ,  大島明博 (早稲田大 理工研) ,  鷲尾方一 (早稲田大 理工研) ,  岡本一将 (大阪大 産研) ,  田川精一 (大阪大 産研)
資料名： アイソトープ・放射線研究発表会要旨集
巻： 45th  ページ： 88  発行年： 2008年06月20日 
JST資料番号： S0636B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *架橋【高分子】 ,  *ポリテトラフルオロエチレン ,  *集束イオンビーム ,  *イオンビーム加工 ,  ナノメータ加工 ,  アスペクト比 ,  グラフト共重合 ,  放射線重合 ,  エッチング ,  耐放射線性 ,  芳香族炭化水素 ,  ビニル化合物
準シソーラス用語： *高機能化

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  放射線高分子化学  (CG03050S)

物質索引 (1件)： スチレン

タイトルに関連する用語 (6件)： 架橋 ,  PTFE ,  集束イオンビーム ,  微細加工 ,  高機能化 ,  研究