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J-GLOBAL ID:200902238333778120   整理番号:08A0740717

架橋PTFEの集束イオンビームによる微細加工とその高機能化に関する研究

著者 (7件):
資料名:
巻: 45th  ページ: 88  発行年: 2008年06月20日 
JST資料番号: S0636B  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (2件):
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固体デバイス製造技術一般  ,  放射線高分子化学 
物質索引 (1件):
物質索引
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