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J-GLOBAL ID：200902238397279756   整理番号：03A0598550

低接触力プローブカードのためのAl電極上のフリッティング現象の特性評価

Characterization of Fritting Phenomena on Al Electrode for Low Contact Force Probe Card.
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著者 (3件)：
KATAOKA K

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(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)

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ITOH T

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SUGA T

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(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)

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資料名：
IEEE Transactions on Components and Packaging Technologies  (IEEE Transactions on Components and Packaging Technologies)

IEEE Transactions on Components and Packaging Technologies について


巻： 26  号： 2  ページ： 382-387  発行年： 2003年06月 
JST資料番号： H0255C  ISSN： 1521-3331  CODEN： ITCPFB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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半導体デバイスのI/Oパッドにアルミニウムが広く使われている...
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シソーラス用語/準シソーラス用語
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*探触子

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フリッティング現象

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分類 (1件)：
分類
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固体デバイス計測・試験・信頼性 
(NC03040G)

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タイトルに関連する用語 (5件)：
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Al

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現象

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