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J-GLOBAL ID：200902240113993084   整理番号：08A0224966

Z-軸振動とX,Y双方向傾動運動機能を備えた電磁駆動光学MEMSミラーの開発および低コヒーレント光学干渉計への応用

Development of an Electromagnetically Driven Optical MEMS Mirror with Functions of Z-Axis Vibration and X, Y Bi-Directional Tilting, and an Application to Low Coherent Optical Interferometer

著者 (6件)： WATANABE Yoshiyuki (Yamagata Res. Inst. of Technol., Yamagata) ,  ABE Yutaka (Yamagata Res. Inst. of Technol., Yamagata) ,  IWAMATSU Shinnosuke (Yamagata Res. Inst. of Technol., Yamagata) ,  MITSUI Toshiaki (Yamagata Res. Inst. of Technol., Yamagata) ,  TAKAHASHI Yoshiyuki (Yamagata Res. Inst. of Technol., Yamagata) ,  SATO Toshiyuki (Yamagata Res. Inst. of Technol., Yamagata)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 128  号： 3  ページ： 70-74  発行年： 2008年03月01日 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,光学MEMSミラーの開発について提示する。この光学MEMSミラーは,2-D光学走査や光軸位置合せのための双方向低周波傾動運動を起こすことができるだけでなく,ロックイン検出のためのZ-軸高周波振動も実現できる。そのため,時間領域低コヒーレンス干渉測定への応用が可能である。このMEMSミラーは,二層平面コイルと永久磁石間の電磁力により駆動される。また,ロックイン検出のために超発光ダイオードを備えた低コヒーレント光学干渉計に埋め込まれている。性能を評価した結果,この光学MEMSミラーが,ロックイン検出と光軸の位置合わせに有効であることを示した。また,透明な物体の厚みと屈折率は,低コヒーレント光学干渉測定システムで識別可能である。

シソーラス用語： *干渉計 ,  *反射鏡 ,  *傾動運動 ,  コヒーレント光 ,  電磁駆動 ,  超小形回路技術
準シソーラス用語： コヒーレント光学干渉計 ,  *マイクロミラー ,  光MEMS

分類 (2件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (8件)：

• TANNO, N. Optical Coherence Tomography. Kougaku. 2002, 31, 4, 302-304
• MCCORMICK, D. T. 3-D MEMS based minimally invasive optical coherence tomography. The 13th Int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Seoul, Korea, June 5-9, 2005. 2005, 1644-1648
• MCCORMICK, D. T. A MEMS based optical coherence tomography imaging system and optical biopsy probes for real-time, high resolution in-vivo and in-vitro 2-D or 3-D imaging. 2006 IEEE/LEOS Int. Conf. on Optical MEMS and their applications, Montana, August 21-24. 2006, 162-163
• WATANABE, Y. Three-dimensional imaging by ultrahigh-speed axial-lateral parallel time domain optical coherence tomography. Optics Express. 2006, 14, 12, 5201-5209
• YODA, M. A MEMS 1-D optical scanner for laser projection display using self-assembled vertical combs and scan-angle magnifying mechanism. The 13th Int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Seoul, Korea, June 5-9, 2005. 2005, 968-971

タイトルに関連する用語 (9件)： 軸振動 ,  双方向 ,  傾動運動 ,  電磁駆動 ,  光学 ,  MEMSミラー ,  開発 ,  干渉計 ,  応用