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J-GLOBAL ID：200902240216744694   整理番号：04A0698687

パルス時間変調塩素プラズマによるMRAM材料エッチング

著者 (3件)： 熊谷慎也 (東北大 流体科研) ,  安藤厚博 (ソニー) ,  寒川誠二 (東北大 流体科研)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 65th  号： 1  ページ： 445  発行年： 2004年09月01日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *プラズマエッチング ,...

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分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  プラズマ応用  (BJ02110K)

タイトルに関連する用語 (5件)： パルス時間変調 ,  塩素 ,  プラズマ ,  MRAM ,  エッチング